真空バルブメーカーSS304316Lステンレス鋼
| アングルバルブ | ベローズアングルバルブで手動操作 |
| Z-インラインバルブ | 空気圧作動式アングルバルブ |
| Y-インラインバルブ | Yインラインバルブ |
| ボールバルブ | 2段バルブ |
| 仕切り弁 | UHVゲートバルブ（ベローズ付き） |
特徴
*長寿命の操作。
*化学物質や粒子状物質による汚染を伴う半導体製造システムに至るまで、さまざまなアプリケーションで確実に機能します。
*ステンレス鋼溶接ベローズシール。
*断続的に200ºCまでベーカブル、Vitonシールボンネット。
*手動および電空作動またはフェイルセーフオペレーター
* コンパクトサイズ。
*シンプルで迅速なメンテナンス。
*手動オーバーライド付きの電磁弁による簡単な制御。
仕様
| *体 | 304 SS（その他の資料はご要望に応じてご利用いただけます） |
| *ポペット | 304 SS（その他の資料はご要望に応じてご利用いただけます） |
| *ベローズ | 溶接AM-350（オプション） |
| *ソレノイド | オプション |
| *位置インジケーター | オプション |
| *密閉する | ヴィトンオーリング |
| *リークレート | 2x10-9std.cc./秒 |
| *圧力範囲 | 1x10-9トルから760トルのVitonシールボンネット |
| ※開封前の最大△圧力 | 1.2バー |
| *作動空気圧 | 4〜6.5 kg / cm2 |
| *サービスまでのサイクル | 16〜50〜500,000 |
| *（全開） | 63〜150〜250,000 |
| 200以上〜アプリケーションに依存 | |
| *ベイクアウトの制限 | 150ºCVitonシールボンネット |
| より大きなまたは特別なサイズが利用可能です |
アプリケーション
* KF、ISO、およびANSIポートモデルは、真空圧が約10の高真空アプリケーション向けに設計されています-9トルと焼き出し温度は150ºCを超えません。
* CFポートモデルは、真空圧が約10の超高真空アプリケーション向けに設計されています-10トルとベイクアウトの温度は200ºCを超えません。また、より恒久的なシールが必要なアプリケーションでも一般的に使用されます。
Shanteng真空は、半導体業界に真空ソリューションを提供しています。
超高真空部品のアクセサリ、ハードウェア、KF、CF、ISO ASAフランジ、フィッティングなどのコンポーネントを提供しています。また、真空ボールバルブ、ゲートバルブ、アングルバルブ、真空チャンバーも製造しています。プロセスをより効率的にし、リードタイムを短縮し、お客様のコストを節約します。
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